隨著工業技術的不斷持續發展，大多數采用密閉和接近密閉型的常壓干燥設備都被設計成真空干燥設備。真空干燥設備是專為干燥熱敏性、易分解和易氧化物質而設計的，工作時可使工作室內保持一定的真空度，并能夠向內部充入惰性氣體。
真空干燥設備種類繁多，結構各異。其分類方法也不相同。
真空干燥機就是通過降低干燥室的壓力以降低濕分的沸點，達到在低溫下干燥的目的。工業干燥機按其加熱方式可分為傳導式和對流式兩大類。回顧工業干燥機的發展，又可分為幾個階段，五十年代以前，主要是以傳導式（例如箱式烘箱、真空干燥箱）為主。從手工裝卸料發展到半機械化、機械化和連續式干燥。五十年代以后，干燥技術的開發為滿足工業干燥的處理量大、高效、連續化、自動化的要求，重點進行了對流式干燥機的研發和開發。到七十年代初，對流式干燥機已取代傳導式干燥機的主導地位。但隨著工業的發展，在節能、環保、潔凈等方面，對干燥機提出新的要求，而這些又是對流式干燥機一時難以解決的要求，因而傳導式又得到新的發展。從七十年代到八十年代初，各種新型的傳導式干燥機（例如多層帶式真空干燥機、雙錐回轉干燥機、葉片式、振動式干燥機等）取代對流式干燥機逐漸增多。當然為了適應對節能、環保、潔凈的要求，對流式也在設法加以改進，例如將傳導式加熱面與流化干燥機結合起來等等。
真空干燥機屬于傳導式干燥，即將冷凝器、真空泵與傳導式干燥機配套，形成真空干燥裝置。由于真空干燥具有干燥溫度低、干燥速率大、節能、設備密閉防污染等優點，因而傳導式干燥機大部分可設計成真空干燥裝置，真空干燥在生物制品、藥品、飲品以及熱敏性物料、氧敏性物料、溶劑回收等干燥中起到獨特作用。
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